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北方华创“半导体设备的工艺腔室”专利公布
2025-06-12
北京北方华创微电子装备有限公司公布了一项名为“半导体设备的工艺腔室”的专利，申请公布号为CN118422139A，公布日期为2025年2月14日。该专利涉及工艺腔体、基座、防护内衬及接地装置等设计，旨在优化半导体设备性能。
