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华海清科“金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备”专利获授权
1 天前
华海清科股份有限公司近日获得一项名为“金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备”的专利，授权公告号为CN116423378B，该专利的授权公告日期为2025年3月14日，申请日期为2023年4月17日。该专利旨在提升金属膜厚在线测量的精度，通过补偿方法减少误差。
