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诺思“一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法和该器件”专利获授权
2025-06-15
诺思(天津)微系统公司近日获得一项专利,名为“空气隙型压电体声波器件异质集成方法及器件”,授权公告号CN109802645B,公告日期为2025年3月14日,申请于2018年12月26日。
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