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诺思“一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法和该器件”专利获授权

1 天前

诺思（天津）微系统公司近日获得一项专利，名为“空气隙型压电体声波器件异质集成方法及器件”，授权公告号CN109802645B，公告日期为2025年3月14日，申请于2018年12月26日。

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