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中国科学院微电子所在人工智能驱动原子级工艺仿真方向取得重要进展
2025-06-20
结合前沿人工智能技术，实现从原子级精度模拟刻蚀动力学，理解微观结构演变，进而预测并优化宏观工艺参数，是人工智能赋能集成电路制造的关键。中国科学院微电子研究所的研究员合作，首次将机器学习势函数分子动力学推演方法引入集成电路刻蚀工艺仿真，从原子尺度探究刻蚀机理，实现大尺度推演，并验证了仿真结果的正确性，计算效率显著提升。
