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鲁汶仪器“一种位于开口侧壁表面的膜层的刻蚀方法”专利公布
1 天前
江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的“一种位于开口侧壁表面的膜层的刻蚀方法”专利于2025年3月14日公布，申请公布号为CN119626902A。该方法或涉及半导体加工中的精细刻蚀技术，用于提升器件性能。
