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两部门：聚焦集成电路核心计量技术支撑，重点攻克扁平化量值传递等技术难题
6 天前
市场监管总局与工业和信息化部联合发布了《计量支撑产业新质生产力发展行动方案（2025—2030年）》，该方案针对集成电路产业的需求，着重解决扁平化量值传递等技术挑战，突破晶圆级缺陷颗粒计量测试、参数标准芯片化及先进封装标准物质研发瓶颈。方案还计划创新原子尺度计量装置与方法，攻克集成电路相关计量技术关键参量，研究在线计量方法，开展计量测试评价，旨在构建完善的集成电路计量体系。
