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上海奉贤：支持企业发展先进制程集成电路配套材料，如6N级以上高纯靶材、深紫外光刻胶及配套试剂等
1 周前
上海市奉贤区发布《奉贤区通用新材料产业发展行动方案（2025-2027）》，旨在依托上海电子化学品专区及重点企业，发展湿化学品、高纯靶材、电子气体、半导体封装材料等集成电路配套材料。该方案支持先进制程材料的研发，并推动同创普润新材料产业园的建设，以打造产业链生态空间，促进新材料产业的集聚与发展。
