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全球首台顶级光刻机出货支持后2nm工艺

5 天前

光刻机巨头ASML宣布，全球首台第二代High NA EUV光刻机EXE:5200已出货，该设备是对初代EXE:5000的改进版。首台买家为英特尔，售价接近30亿元。此光刻机被视为目前最先进的芯片制造设备。

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