搜索
【专利】鲁汶仪器“一种位于开口侧壁表面的膜层的刻蚀方法”专利公布
2025-07-18
江苏鲁汶仪器股份有限公司公布了一项专利，名为“一种位于开口侧壁表面的膜层的刻蚀方法”，申请公布号为CN119626902A，公布日期为2025年3月14日。该方法应用于半导体器件，通过精确控制离子束的入射角度，实现刻蚀位置的准确控制，提高刻蚀精度。
