尼康今日宣布开始接受数字光刻系统DSP-100的订单,该系统专为下一代先进半导体封装设计,作为后端工具。首批设备预计于2026财年交付。DSP-100特别针对面板级封装(PLP)技术,该技术正被台积电、英特尔和三星等行业巨头采用,以应对300毫米晶圆的成本和面积挑战。