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奕斯伟“晶圆倒角装置和晶圆倒角方法”专利公布
2025-07-23
西安奕斯伟材料科技股份有限公司的“晶圆倒角装置和晶圆倒角方法”专利于2025年3月14日公布，申请公布号为CN119609824A。该专利涉及晶圆加工技术，通过特定装置和方法对晶圆边缘进行倒角处理，以实现不同的晶圆边缘倒角形貌。
