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奕斯伟“定盘沟槽清洁装置、清洁方法和研磨设备”专利公布

6 天前

西安奕斯伟材料科技股份有限公司的“定盘沟槽清洁装置、清洁方法和研磨设备”专利于2025年3月14日公布，申请公布号为CN119609919A。该专利可能涉及半导体制造设备的维护技术，旨在提升研磨定盘的清洁效率。

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