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第500台国产步进光刻机成功交付

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上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）昨日成功举办第500台步进光刻机交付仪式，该设备将用于集成电路晶圆级先进封测，标志着我国高端半导体装备产业取得新突破。

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