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用上30亿一台的EUV光刻机 Intel对14A仍有信心
2 天前
Intel公司计划在2025年量产18A工艺，这是其四年五代工艺路线图中的关键环节，该工艺将持续改进并应用至2030年。作为18A的下一代技术，14A工艺将采用ASML公司的Twinscan NXE:5000系列High NA EUV光刻机，其数值孔径提升至0.55，分辨率更高，是2nm以下制程节点的核心设备。
