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ASML计划于2027年交付56台低数值孔径和10台高数值孔径EUV设备

2 天前

ASML公司计划在2027年交付56台Low-NA EUV光刻机和10台High-NA EUV光刻机，产量远超此前预期。EUV光刻机采购周期长达一年，企业需提前数年作出采购承诺。

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