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晶盛机电：首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线
2025-09-26
9月26日，晶盛机电宣布其子公司浙江晶瑞SuperSiC的首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线。该中试线覆盖了从晶体加工到检测的全流程工艺，所有环节均采用国产设备与自主技术，实现了100%国产化。
