尽管ASML称售予中国芯片制造商的是无法生产最先进芯片的旧技术,但分析师仍担忧其或被用于军事技术研发与部署。有消息指出,中国电子科技集团下属部门采购了ASML的DUV光刻机,同时ASML还被指控向深圳国际量子研究院供应了一套DUV光刻机系统。此前,荷兰军事情报与安全局曾就中国量子技术发展发出警告。ASML表示,不直接评论特定客户的销售情况,强调售华技术非尖端,且供应商无法判断客户是否受出口管制约束,国家安全事务责任在于各国政府。