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Intel安装首套二代High-NA EUV 为14A工艺铺平道路
2 天前
近日，Intel宣布已安装ASML最新的TWINSCAN EXE:5200B光刻系统。该系统为全球首套、也是目前最先进的第二代High-NA EUV光刻系统，将应用于Intel 14A节点制程。此前，Intel于2023年底接收了首套High-NA EUV机型EXE:5000，并在俄勒冈州Fab D1X工厂完成了早期技术研发与人才储备。此次落地的EXE:5200B在生产力和精度方面均有提升。
