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诺睿科光学关键尺寸（OCD）量测设备成功交付国内客户
11 小时前
上海诺睿科半导体设备有限公司近日推出全新光学关键尺寸量测（OCD）设备NKShape系列，并已成功交付国内客户。该系列产品专为半导体先进工艺设计，可应用于Planar Gate、FinFET、DRAM、3D-NAND等复杂结构的关键尺寸量测。
