三星电子已向ASML订购约20台极紫外(EUV)光刻机,用于10nm以下超微细工艺,连同深紫外(DUV)设备在内,总光刻设备订单约70台。这些设备将安装在平泽园区Fab 5(P5)第一阶段,单是EUV设备价值就超10万亿韩元。