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中瓷电子：静电卡盘产品已通过国内头部半导体设备公司上机验证
3 小时前
5月9日消息，中瓷电子在接受机构调研时表示，针对半导体设备用精密陶瓷领域，公司正持续加大研发投入。目前，已成功开发氧化铝、氮化铝精密陶瓷零部件，并搭建起精密陶瓷零部件制造工艺平台。其中，陶瓷加热盘产品核心技术指标已达国际同类水平，并通过用户验证，实现批量应用；静电卡盘产品也已通过国内头部半导体设备公司的上机验证。此外，公司精密陶瓷零部件销售收入同比大幅增长。
