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华海清科全资子公司交付自主研发12英寸大束流离子注入机
2 小时前
近日，华海清科全资子公司芯嵛半导体自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE，成功交付国内先进存储领域龙头企业。这一进展标志着国产高端离子注入装备成功进入先进存储制造核心领域。离子注入机是集成电路前道工艺的关键装备，技术壁垒高，长期由国际巨头主导。iPUMA-LE关键性能指标达国际先进水平，满足先进制程对离子注入的严苛要求。
