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上海 AI 实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题
17 小时前
上海AI实验室携手厦门大学、苏州国家实验室等单位，利用“书生”科学大模型与平台，打造了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系，成功创制出高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂。这一成果使高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖国外，为芯片材料领域开辟了可标准化、快速迭代的新路径。目前，该平台已支持多批次自动化合成与验证，批次间一致性得到提升。厦门恒坤已完成树脂适配，产业关键指标符合预期，即将进入客户端验证。
