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半导体制造中给OHT系统是什么？
4 小时前
OHT天车系统是300mm晶圆厂物流核心，通过高架轨道全自动搬运FOUP，日均运量超十万次。其定位精度达±1mm，振动控制在0.5G以内，洁净度满足Class 100标准，直接保障先进制程芯片良率。当前国内道达智能、新施诺等厂商已突破关键技术，实现5.3m/s高速运行与全栈国产化，正加速替代日系垄断局面，成为半导体设备国产化的重要突破方向。
