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滨化集团6N级高纯氟化氢实现量产，具备年产50吨充装能力
2 小时前
7月19日，滨化集团旗下大晟芯材宣布实现6N级（99.9999%）高纯氟化氢规模化量产，填补了山东省高纯氟化氢产能空白。该产品是适配28纳米及以下先进制程芯片制造的关键材料，此前长期依赖进口，国外企业垄断全球约80%的市场份额。滨化集团通过工艺、工程、检测、充装四方面技术突破，攻克了多重精馏耦合、低析出设备选材等核心技术，关键金属离子杂质含量低于1ppb，达到国际一流水平。目前，公司已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试，并取得气瓶充装许可证，开始向国内外重点客户推介产品。
