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清华大学材料学院易迪、南策文团队在纤锌矿铁电体准范德华外延研究中取得新进展
6 小时前
非易失存储器、存内计算、电光调制器及微机电系统等领域的迅猛发展，使铁电薄膜材料备受瞩目。纤锌矿型铝钪氮（AlScN）凭借高饱和极化强度、高居里温度及与CMOS工艺的兼容性，成为下一代铁电器件的热门候选。然而，AlScN薄膜的高质量生长受限于与衬底的晶格匹配和化学键合，传统方法面临衬底受限、难以兼顾结晶质量与生长温度、难以剥离自支撑薄膜等难题，限制了其在异质集成和柔性电子领域的应用。
