江苏先导首台 12 寸高端晶圆级光学磁控溅射设备正式交付
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7月30日,江苏先导微电子自主研发的首台Star600-EOSS 12寸高端精密光学磁控溅射量产设备,在徐州高新区生产基地完成组装与联调,并通过自动化与工艺验证,正式交付国内头部晶圆厂。这标志着该公司在高端晶圆级光学镀膜装备领域,实现了从研发、制造到产业化交付的重要突破。