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芯上微装350nm步进投影光刻机通过客户验证，斩获批量复购订单
7 小时前
8月10日，上海芯上微装科技股份有限公司宣布，其自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200已通过国内化合物半导体头部客户的全流程工艺验证，并获得批量重复采购订单，正式进入商业化批量交付阶段。该设备专为第三代半导体产线设计，可满足多类化合物衬底的光刻工艺需求。
