搜索
国产350nm光刻机拿下批量订单 技术100%自主可控
3 小时前
芯上微装近日宣布，其自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200，已通过国内化合物半导体领域头部客户全流程工艺验证，并获得批量重复采购订单。从2025年11月首台设备发运至2026年8月获批量订单，仅耗时9个月。该设备关键零部件与软件控制系统均实现100%自主可控，标志着国产光刻机在化合物半导体专用设备领域取得重要进展。
