清华大学集成电路王晓红课题组通过实验方法定量测定单层Ti₃C₂Tₓ MXene本征电容
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10月28日消息,MXene作为一种二维过渡金属碳化物、氮化物及碳氮化物,因其出色的金属导电性和独特的电化学界面,在超级电容器和传感器领域得到广泛应用,其性能与材料本征电容紧密相关。然而,直接测量单层Ti3C2Tx MXene薄片单元面临巨大挑战:一是液相法合成的单层MXene尺寸小,有效电容值极低,易被寄生电容掩盖;二是单层MXene化学性质活泼,易受损,难以承受常规微器件制备工艺如紫外或电子束曝光。