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华海清科：公司自主研发清洗装备已批量用于晶圆再生生产

2024-12-23

华海清科12月23日宣布，公司自主研发的清洗装备已批量应用于晶圆再生生产。其中，针对4/6/8英寸化合物半导体的刷片清洗装备及12英寸单片终端清洗机已完成首台验收，清洗产品进展顺利。

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