搜索
半导体所在PZT光电子材料与器件领域取得重大突破
2024-11-30
中国科学院半导体研究所的李明研究员与国科大杭州高等研究院的邱枫研究员携手，针对晶圆级锆钛酸铅薄膜材料的制备与加工技术展开研究。他们采用液相沉积与磁控溅射组合工艺，成功实现了4英寸晶圆薄膜的低成本大规模制备。同时，他们还研制出首个新型锆钛酸铅光子集成工艺开发套件PDK库，实现了从材料生长到器件设计与制备的全链条自主可控。这一突破解决了传统光学材料在制造高速电光调制器时遇到的调制带宽和能效瓶颈问题。
