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北方华创“上电极装置及半导体工艺设备”专利公布

2025-02-14

北京北方华创微电子装备有限公司申请的“上电极装置及半导体工艺设备”专利已公布，申请公布号为CN119230366A，公布日期为2024年12月31日。该专利涉及半导体工艺设备的创新技术。

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