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暌违三年，台积电决定重返龙潭设厂。中国台湾审议通过「新竹科学园区龙潭园区扩建计划」（龙科三期）筹设计划，全案将陈报行政院核定，预计开发约104公顷，其中约46公顷为产业用地。台积电供应链透露，随台积电先进封装扩产重心逐步转往嘉义、南科，龙科三期定位也重新调整，将优先锁定1.4纳米（A14）以下埃米世代先进制程，初步规划三座晶圆厂，首座厂目标2030年前后完工并准备量产，整体投资规模估计超过一万亿元新台币。
龙科三期可谓一波三折。竹科管理局原先规划开发158.59公顷，提供台积电布局2纳米以下先进制程，但当时约88%征收范围属私人土地，引发居民对土地征收、居住权益等问题强烈反弹。台积电2023年10月宣布不进驻，后续先进制程扩产重心也转向高雄等地。
如今龙科三期重新启动，最大转折在于政府大幅缩小开发范围至约104公顷，降低私人土地征收比率，并重新启动地方沟通。
资料显示，中科二期面积89.75公顷、竹科总面积1470.73公顷；龙科三期是中科二期的1.16倍，但仅是竹科总面积的7.1%。
桃园市长张善政表示，政府会投入后续土地取得、居民安置，以及未来园区的水电供应，在不受政治干扰下，让龙科三期顺利推动。
据了解，台积电规划于龙潭三期扩建第一阶段优先切入1.4纳米（A14）。按照台积电技术蓝图，A14预计2028年进入量产，台积电首座A14晶圆厂落脚中科扩大计划的P1厂，因此龙潭并非A14首波量产基地，较可能承接AI、高性能计算需求持续放大后的第二波产能扩张，应是台积电为A14后续强化版本乃至下一世代制程预留空间。
供应链透露，龙科三期初步朝三座先进晶圆厂方向规划，首座厂目标2030年前后完工并陆续进入量产准备。随埃米世代制程设备、极紫外光（EUV）光刻、洁净室及厂务系统投资成本持续攀升，若三座厂全数到位，整体投资金额估计将突破万亿元新台币，龙科也有机会成为台积电2030年代在中国台湾另一个重要先进制程生产集群。
不过，龙科三期后续仍须面对环评、非都市土地开发许可、土地取得及公共工程等程序，真正考验则落在土地、水、电、交通及地方沟通等五大课题。
