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北方华创“一种腔室清洁方法及半导体工艺设备”专利公布
2025-01-06
北京北方华创微电子装备有限公司申请的“一种腔室清洁方法及半导体工艺设备”专利于2024年11月29日公布，公布号为CN119050039A。该方法能自动移出挡板并执行电荷清洁，极大提高静电卡盘残余电荷清洁效率，无需人工参与。
