立式炉是集成电路制造的核心设备,用于前道热处理工艺,如氧化、扩散和退火,直接影响半导体器件性能。其可批量处理晶圆,提升生产效率,在集成电路生产中地位日益重要。SEMI数据显示,2024年全球立式炉市场规模达32亿美元,预计未来几年将持续稳健增长。