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上海微电子“减振装置及半导体设备”专利获授权
2025-01-18
上海微电子装备（集团）股份有限公司近期获得“减振装置及半导体设备”专利，授权公告号CN222122116U，公告日2024年12月6日，申请日2023年12月29日。该专利包含至少三个空气弹簧组件和执行器组件，结合被动与主动减振技术，解决了半导体设备振动敏感部件受干扰及减振元件频段局限问题。
