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华海清科“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”专利公布
2025-02-05
华海清科（北京）科技有限公司申请的“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”专利于2024年11月13日公布，公布号为CN119133038A。该专利包括卡盘、支撑件、旋转机构和液体回收机构等，优化了液体排出路径，提高了干燥效果和液体回收效率。
