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北京大学团队建立Big-MEMS热测量新方法
2025-03-09
2023年初，北京大学宋柏研究员团队提出了Big-MEMS热测量新概念。该概念的核心在于利用标准的MEMS工艺，制造出适用于宏观尺度样品的热测量器件，从而大幅提升热测量能力。作为示范，团队开发了一种新工艺，能可靠、低成本地制造出毫米至厘米级别的硅基悬空加热/量热器件，且该工艺具有可重构性和模块化特点。
