搜索
华中科技大学余洪斌教授团队在压电MEMS超声换能器领域取得最新研究成果
1 天前
5月19日，华中科技大学光学与电子信息学院的余洪斌教授团队在Microsystems & Nanoengineering期刊上发表了关于压电MEMS超声换能器领域的最新研究成果。该成果题为“基于悬臂梁的压电微机械超声波换能器及其后处理软连接策略用于空中测距”，介绍了一种创新的PMUT（压电微机械超声波换能器）设计，旨在解决制造工艺缺陷导致的异步振动问题。该设计通过结合储液池结构与自密封后处理软连接策略，有效抑制了异步振动模态，提高了测距仪的性能。实验结果显示，密封处理后的PMUT测距仪在69.2 kHz、40 Vpp的正弦信号驱动下，实现了270.8 mm至3.8 m的测距范围及接近170°的发散角，性能优于国际商用产品。该工作得到了国家自然科学基金项目的支持，由余洪斌教授担任通讯作者，博士生王岩为第一作者。
