哈工大科研团队实现二维铁电材料超分辨微纳结构图案化可控制造
2025-05-29

哈工大科研团队创新性地利用飞秒激光在二维铁电材料上刻蚀,成功实现超分辨纳米沟槽阵列结构。该方法突破了纳米结构激光制备的分辨率瓶颈,对功能架构构建、电子器件集成及纳米光子学发展具有重要推动作用。