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全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
4 周前
全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已在杭州进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着我国在量子芯片研发领域取得重要突破。该设备由浙大余杭量子研究院自主研发，通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达0.6纳米，被誉为“纳米神笔”，专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节。
