搜索
上海微系统所在高速数据传输能力的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器方面取得进展
4 周前
中国科学院上海微系统与信息技术研究所蔡艳和欧欣研究员团队合作，成功利用“万能离子刀”剥离转移技术，在六吋图形化SiN晶圆上集成了高质量铌酸锂薄膜，并开发出高速数据传输的异质集成薄膜铌酸锂电光调制器。该方案通过氮化硅与薄膜铌酸锂混合波导设计，避免了铌酸锂薄膜刻蚀，简化了工艺，为硅光平台与薄膜铌酸锂的晶圆级异质集成量产铺平道路。
