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中芯国际据报在测试中国首款国产DUV光刻机
2025-09-17
9月17日，两位知情人士透露，中芯国际正在测试上海初创公司宇量昇制造的深紫外光刻机，该设备采用浸没式技术，与阿斯麦的技术类似。试验初步结果令人鼓舞，但能否以及何时用于大规模芯片生产尚不明确。
