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英杰电气：目前公司暂无光刻机电源供应
6 天前
英杰电气在互动平台表示，其半导体先进制程环节的电源供应主要集中于刻蚀和薄膜沉积环节，作用是产生和控制等离子体。该电源与光刻机电源在工艺目的和使用环境上差异显著，属于不同类型，目前公司暂不提供光刻机电源。
