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奕斯伟“气体回收装置和外延设备”专利公布
3 天前
天眼查信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的“气体回收装置和外延设备”专利公布，申请公布号为CN119663436A，公布日期为2025年3月21日。该气体回收装置用于回收外延反应腔室内的气体，包括导管和气体收集容器，导管内设有导引部以促进气体流动。
