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上海微电子“一种光束调整装置及光刻机”专利公布
3 天前
天眼查信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请的“一种光束调整装置及光刻机”专利已公布，申请公布号为CN119668039A，申请公布日期为2025年3月21日。
