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北京大学彭海琳团队原位解析光刻胶微观行为并实现晶圆厂兼容的高分辨光刻
2025-10-14
自半导体产业兴起，光刻技术一直至关重要，是推动集成电路芯片制程工艺不断微缩的核心驱动力之一。
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