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芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运
1 天前
2025年，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）自主研发的AST6200型350nm步进光刻机完成出厂调试与验收，启程交付客户。该设备支持6至12英寸晶圆工艺，采用高精度对准系统与稳定光源技术，适用于显示面板、功率器件等成熟制程领域。此次交付标志着国产光刻机在规模化应用与核心技术自主化方面取得关键进展，进一步推动半导体装备产业链的国产化进程。
