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北方华创“半导体工艺方法和半导体装置系统”专利获授权
22 小时前
天眼查信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体工艺方法和半导体装置系统”的专利，授权公告号CN114883189B，授权公告日2025年10月17日，申请日2022年5月27日。该专利提供一种半导体工艺方法，能在量产时实时稳定维持鳍片间距均匀性，保证产品性能、提高产品良率，还提供一种半导体装置系统。
